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1.
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金属部品は一切使用していない、世界初の100%フッ素樹脂製ポンプです。
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2.
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25年に及ぶ経験と実績により開発された長寿命設計のベローズを採用しています。
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3.
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独自に開発した液の移送方法により、液体粘度1000CPまでのCMPスラリー液の使用が可能です。
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4.
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エアー駆動方式なのでメンテナンスが容易です。
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5.
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PFDポンプは最高使用流体温度は100℃ですが、PFH型ポンプは180℃まで使用可能です。
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6.
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液漏れの原因となる回転軸がありません。
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7.
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エアー供給圧力の調整だけで吐出圧力の調整が容易に行えます。
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8.
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完全自給式、軽量、コンパクト設計。
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1.
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本体(接続部)
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PTFE、PFA
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2.
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ベローズ
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PTFE
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3.
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バルブ
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PTFE
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4.
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バルブシート
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PTFE
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5.
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排接液部
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PVDF、PEEK、PP、バイトン
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ご注文の際は、≪カタログNo≫をご指定ください。
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≪ASTIベローズポンプ(SGPPL社製)総合カタログ≫ダウンロードはこちら 
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